洁净型直交机器人XY-XC是直交机器人中可以在无尘室使用的机型。

    采用耐久性卓越的不锈钢板，使开口部的设计达到较小，以少量的吸气即可实现较高的洁净度。

    洁净度 ：相当于等级10(ISO25644-1)

    ※每1cf为0.1μm，使用抽风机时。

    洁净度：CLASS10

    抽吸量：60～90Nℓ/min

    zui大搬运重量：20kg

    zui高速度：1000mm/sec

    ※用户配线: D-Sub 25PIN 连接器(1-24号已接线、25号为机架地线)

    ※用户配管: 3根6空气软管