洁净型直交机器人XY-XC是直交机器人中可以在无尘室使用的机型。
采用耐久性卓越的不锈钢板,使开口部的设计达到较小,以少量的吸气即可实现较高的洁净度。
洁净度 :相当于等级10(ISO25644-1)
※每1cf为0.1μm,使用抽风机时。
洁净度:CLASS10
抽吸量:60~90Nℓ/min
zui大搬运重量:20kg
zui高速度:1000mm/sec
※用户配线: D-Sub 25PIN 连接器(1-24号已接线、25号为机架地线)
※用户配管: 3根6空气软管